旋片真空泵的來(lái)歷
現(xiàn)有普通的機(jī)械真空泵，利用電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子上的旋片在定子的內(nèi)圓面上運(yùn)動(dòng)，使得轉(zhuǎn)子與定子之間的容積變化，進(jìn)而產(chǎn)生真空，但該機(jī)械真空泵必須要有較高的密封度，才能產(chǎn)生高的真空度，另外轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中與定子的內(nèi)圓面摩擦容易產(chǎn)生大量的熱，影響到真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，使得真空腔內(nèi)壓力大，不便于吸氣，同時(shí)會(huì)影響密封件的性能。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12 Pa以上的超高真空范圍。
由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。
旋片式真空泵主要由泵體（靜子）和轉(zhuǎn)子組成。在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊以上的旋片，有些泵旋片間還裝有彈簧。轉(zhuǎn)子偏心地裝在泵腔內(nèi)，其外緣與泵腔頂部表面的間隙為2～3微米。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，在離心力等作用下,旋片沿槽作往復(fù)滑動(dòng)并與泵腔內(nèi)壁始終保持接觸,將泵腔分成兩個(gè)或幾個(gè)可變?nèi)莘e的工作室。轉(zhuǎn)子順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的吸氣腔容積由零逐漸增大,腔內(nèi)氣體壓力降低，被抽氣體便從吸氣口源源不斷地吸入。同時(shí),與排氣口相通的排氣腔容積由大變小，吸入腔內(nèi)的氣體被壓縮，待氣體壓力高于大氣壓力時(shí)，推開(kāi)排氣閥排出大氣，轉(zhuǎn)子連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，泵便不斷抽氣。
